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- 實(shí)驗(yàn)室鍍膜耗材
- 其他產(chǎn)品
本產(chǎn)品為桌面型小型雙源蒸發(fā)鍍膜儀，設(shè)備安裝有兩套蒸發(fā)源，各蒸發(fā)源分別供電，可交替開啟也可同時(shí)開啟；每個(gè)蒸發(fā)源可提供*大100A的鍍膜電流，*大蒸發(fā)溫度可達(dá)1800℃，能夠滿足各種常見金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍，因此被廣泛用于電極的制備和有機(jī)物發(fā)光LED的制備。真空腔體采用不不銹鋼制作，配合分子泵組可達(dá)到5x10-5Pa極限真空，能夠滿足絕大部分材料蒸發(fā)所需的真空環(huán)境。兩組蒸發(fā)源對(duì)稱放置，每個(gè)蒸發(fā)源均具有單獨(dú)的擋板，可保證鍍膜過程中不被污染。
小型雙源蒸發(fā)鍍膜技術(shù)參數(shù)：
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產(chǎn)品名稱 |
桌面型雙源蒸發(fā)鍍膜儀 |
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產(chǎn)品型號(hào) |
CY-EVZ170-Ⅱ-H-SS |
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樣品臺(tái) |
外形尺寸 |
直徑φ60mm |
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轉(zhuǎn)速 |
≦20rpm |
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至蒸發(fā)源間距 |
60～100mm 連續(xù)可調(diào) |
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熱蒸發(fā)源 |
配 2 個(gè)鎢舟、2個(gè)鎢絲籃 |
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蒸發(fā)電源 |
2個(gè)，每個(gè)蒸發(fā)源均配擋板 |
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真空腔體 |
腔體尺寸 |
直徑φ170mm，高度210mm |
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觀察窗口 |
直徑φ60mm |
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腔體材質(zhì) |
304不銹鋼 |
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開啟方式 |
上開啟式 |
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膜厚測(cè)量 |
晶體膜厚測(cè)量?jī)x（也可選膜厚控制儀） |
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真空系統(tǒng) |
前級(jí)泵 |
雙極旋片泵，氣體抽速1.1L/S |
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次級(jí)泵 |
渦輪分子泵,氣體抽速600L/S |
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真空測(cè)量 |
復(fù)合真空計(jì)(電離規(guī)+電阻規(guī)) |
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系統(tǒng)真空 |
5×10-4Pa |
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控制系統(tǒng) |
CYKY自研專業(yè)級(jí)控制器 |
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其他參數(shù) |
供電電源 |
AC220V,50Hz |
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整機(jī)尺寸 |
600mm×600mm×750mm |
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整機(jī)功率 |
1200W |
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整機(jī)重量 |
40kg |
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