歡迎進入鄭州成越科學(xué)儀器有限公司網(wǎng)站!
本設(shè)備的蒸發(fā)源共兩組,采取鎢舟蒸發(fā)源,水冷式銅電極,可*大支持300A的大電流,加熱溫度*高可達1800℃,可實現(xiàn)多種難熔金屬的蒸鍍。本設(shè)備采用一體化設(shè)計,腔體和電控部分左右分置,實現(xiàn)了水電分離,有力的保證了用戶的**。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結(jié)合的設(shè)計,真空系統(tǒng)、樣品臺等輔助功能通過觸控屏一鍵操作,通電蒸發(fā)、膜厚控制等通過面板獨立操作,在盡可能方便用戶的同時規(guī)避了誤操作的可能。該設(shè)備設(shè)計完善性能優(yōu)越,是實驗室高精度蒸發(fā)鍍膜試驗的必備之選。
技術(shù)參數(shù):
多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀 型號 CY-EVH325-Ⅱ-HH-SS 樣品臺 尺寸 *大支持φ150mm樣品 高度 上下70mm可調(diào) 蒸發(fā)源 數(shù)量 鎢舟x2 真空腔體 腔體尺寸 φ325x600mm 觀察窗口 前置φ100mm 腔體材料 304不銹鋼 開啟方式 前開門式 膜厚控制 晶振式膜厚測量儀,可選多通道膜厚控制儀 真空系統(tǒng) 前級泵 雙極旋片泵 抽氣接口 KF16 次級泵 渦輪分子泵 抽氣接口 CF160 真空測量 電阻+電離 復(fù)合真空規(guī) 排氣速率 機械泵1.1L/s 分子泵 600L/s 極限真空 1.0E-5Pa 供電電源 AC 220V 50/60Hz 抽氣速率 旋片泵:1.1L/S 控制系統(tǒng) PLC自動控制 操作界面:觸控屏+操作面板 其他 供電電壓 AC380V,50Hz 整機尺寸 1000mm X900mm X 1500mm 整機重量 350kg 整機功率 5kW
多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀
型號
CY-EVH325-Ⅱ-HH-SS
樣品臺
尺寸
*大支持φ150mm樣品
高度
上下70mm可調(diào)
蒸發(fā)源
數(shù)量
鎢舟x2
真空腔體
腔體尺寸
φ325x600mm
觀察窗口
前置φ100mm
腔體材料
304不銹鋼
開啟方式
前開門式
膜厚控制
晶振式膜厚測量儀,可選多通道膜厚控制儀
真空系統(tǒng)
前級泵
雙極旋片泵
抽氣接口
KF16
次級泵
渦輪分子泵
CF160
真空測量
電阻+電離 復(fù)合真空規(guī)
排氣速率
機械泵1.1L/s 分子泵 600L/s
極限真空
1.0E-5Pa
供電電源
AC 220V 50/60Hz
抽氣速率
旋片泵:1.1L/S
控制系統(tǒng)
PLC自動控制 操作界面:觸控屏+操作面板
其他
供電電壓
AC380V,50Hz
整機尺寸
1000mm X900mm X 1500mm
整機重量
350kg
整機功率
5kW
豫公網(wǎng)安備 41019702002438號