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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:三溫區(qū)1600 CVD系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號:CY-CVD1600-60-220×440×220-3TH-Q
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
該三溫區(qū)1600 CVD系統(tǒng)主要用于真空燒結(jié)、氣氛保護性燒結(jié)、真空鍍膜 各種材料煅燒、需要溫度梯度的各種CVD實驗
詳情介紹:
一、三溫區(qū)1600 CVD系統(tǒng)產(chǎn)品特點:
造型優(yōu)美 做工精細
測溫精準 控溫穩(wěn)定
超高溫加熱元件 工作溫度可高達1650℃
產(chǎn)品豐富 有多種型號供您選擇

技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品型號

CY-1600-60-300-Q

爐管材質(zhì)

高純氧化鋁

爐管直徑

60mm(可選配50mm、80mm、100mm)

爐管長度

1300mm

爐膛長度

400mm

加熱區(qū)長

220×440×220

恒溫區(qū)長

150mm

工作溫度

1650

控溫精度

±1

控溫模式

30段或50段程序控溫

顯示模式

LCD

密封方式

304不銹鋼真空法蘭

法蘭接口

1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭

可抽真空

4.4E-3Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz

統(tǒng)

產(chǎn)品型號

CY-3Z

氣體通道

3通道

測量部件

氣體質(zhì)量流量計

測量量程

A通道:0100SCCM    H2

備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需要特別注明。可根據(jù)客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。

B通道:0300SCCM    N2

C通道:0500SCCM    Ar

測量精度

±1.0%F.S

管道耐壓

3MPa

工作壓差

50300KPa

連接管道

304不銹鋼

控制閥門

304不銹鋼針閥

接口規(guī)格

進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭

供電電源

AC:220V 50/60Hz

統(tǒng)

產(chǎn)品型號

CY-GZK103-A

分子泵

CY-600

前極泵

旋片泵

抽氣速率

分子泵:600L/S

綜合抽氣性能:20分鐘真空度可達:1.0E-3Pa

旋片泵:1.1L/S

抽氣接口

KF40

排氣接口

KF16

真空測量

復合真空計:電阻規(guī)+電離規(guī)

極限真空

1.0E-5Pa

供電電源

AC:220V 50/60Hz


豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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