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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：不銹鋼腔體勻膠機(jī)

  • 產(chǎn)品型號(hào)：CY-SPC8-SS
  • 產(chǎn)品廠商：成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
勻膠機(jī)是一種用于制備薄膜的儀器，廣泛應(yīng)用于材料學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)等領(lǐng)域。它的主要工作原理是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，從而制備出均勻、致密、厚度可調(diào)的薄膜
詳情介紹：
不銹鋼腔體勻膠機(jī)是一種用于制備薄膜的儀器，廣泛應(yīng)用于材料學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)等領(lǐng)域。它的主要工作原理是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，從而制備出均勻、致密、厚度可調(diào)的薄膜。不銹鋼腔體勻膠機(jī)被認(rèn)為是制備高質(zhì)量樣品的重要工具之一。
勻膠機(jī)主要由基座、旋轉(zhuǎn)盤、傳動(dòng)裝置、抽氣裝置、注解系統(tǒng)和數(shù)顯溫控器等多個(gè)部分組成。其制備過(guò)程可以分為以下步驟：將溶液放在旋轉(zhuǎn)盤上；啟動(dòng)旋轉(zhuǎn)盤進(jìn)行離心作用；控制旋轉(zhuǎn)速度和時(shí)間使其形成想要厚度的薄膜；*后利用抽氣裝置去除涂層表面的余膠。
使用時(shí)，勻膠機(jī)需要準(zhǔn)備一定數(shù)量的所需材料的溶液或混合物，通常使用有機(jī)溶劑或水作為稀釋劑，并加入表面活性劑以改善黏度和表面張力。混合物的配方應(yīng)該根據(jù)所需薄膜的化學(xué)性質(zhì)和厚度來(lái)確定。
此外，不銹鋼腔體勻膠機(jī)采用先進(jìn)的精密電機(jī)，其轉(zhuǎn)速能達(dá)到很高，例如10000轉(zhuǎn)/分，這有效地保障了成膜的均勻性。同時(shí)，它可能采用觸控屏控制，可以預(yù)設(shè)勻膠曲線，從而大大簡(jiǎn)化了使用過(guò)程并降低了學(xué)習(xí)成本。
請(qǐng)注意，不同的不銹鋼腔體勻膠機(jī)可能有不同的特點(diǎn)和功能，因此在具體選擇和使用時(shí)，建議參考相關(guān)產(chǎn)品的說(shuō)明書或咨詢專業(yè)人士。
不銹鋼腔體勻膠機(jī)的主要用途是將液態(tài)或膠體材料均勻涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上，形成薄膜。這種設(shè)備廣泛應(yīng)用于各種領(lǐng)域，包括但不限于光刻膠旋涂、生物培養(yǎng)基制作以及溶膠凝膠法制作高分子薄膜等。
具體來(lái)說(shuō)，不銹鋼腔體勻膠機(jī)通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使膠液均勻地分布在基片表面，形成一層均勻、致密的薄膜。這種薄膜的厚度和均勻性可以通過(guò)控制旋轉(zhuǎn)速度和時(shí)間來(lái)調(diào)節(jié)，以滿足不同應(yīng)用的需求。
在光刻膠旋涂中，不銹鋼腔體勻膠機(jī)用于在硅片或其他基片上制備光刻膠薄膜，這是制造半導(dǎo)體器件和集成電路的關(guān)鍵步驟。在生物培養(yǎng)基制作中，勻膠機(jī)則用于制備均勻的生物培養(yǎng)基薄膜，用于細(xì)胞培養(yǎng)和組織工程等研究。此外，在溶膠凝膠法制作高分子薄膜時(shí)，不銹鋼腔體勻膠機(jī)同樣發(fā)揮著重要作用。
總的來(lái)說(shuō)，不銹鋼腔體勻膠機(jī)在材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造、生物學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域中都有廣泛的應(yīng)用，為科研和生產(chǎn)提供了重要的技術(shù)支持。

技術(shù)參數(shù)：

供電電壓

AC220V  50Hz

轉(zhuǎn)速

-3000~3000 rpm

2000 rpm/S

轉(zhuǎn)速分辨率

1rpm

轉(zhuǎn)速精度

±1 rpm(50~3000 rpm)

單步時(shí)間

3000s

基片尺寸

基片尺寸規(guī)格：4/6/8 寸標(biāo)準(zhǔn)晶圓，固定 300mm 金屬 frame，晶圓厚度：80-100um

腔體材質(zhì)

上等不銹鋼，可拆卸組合式 CUP，方便清洗

自動(dòng)擺臂

擺臂速度：1~30°/S；材質(zhì)：鋁合金；數(shù)量：1

管路

1.管路數(shù)量：4

2.自動(dòng)擺臂：1 路 N2，1 路高壓水，1 路膠；固定臂：1 路高壓水

3.高壓水壓力范圍：1~12Mpa（10-120bar）

4.水壓大小可以通過(guò)通信協(xié)議設(shè)置

5.氮?dú)饬髁看笮】赏ㄟ^(guò)通信協(xié)議設(shè)置

滴膠方式

膠粘度：40~60cp； 供膠方式：氣動(dòng)膠泵（帶液位檢測(cè)）  補(bǔ)液方式：手動(dòng)補(bǔ)液 .

載物盤

數(shù)量：1

材質(zhì): 微孔盤 ，載物盤具有升降功能

尺寸：適合 4/6/8 寸標(biāo)準(zhǔn)晶圓+300mm 金屬 frame

基片固定方式：真空吸附方式+夾持

真空檢測(cè)：數(shù)字式壓力傳感器

控制系統(tǒng)

控制系統(tǒng)：采用 PLC 控制 ，模塊化 無(wú)需觸摸屏。

程序：100 組，每組 100 步，單步*大 3000.0S，時(shí)間分辨率:0.1S

程序可保存、調(diào)用、修改、刪除

設(shè)置加密權(quán)限:分別為設(shè)備操作員、技術(shù)員、管理員、 廠商

信號(hào)塔類型：紅、黃、綠 3 色

與主設(shè)備機(jī)器人對(duì)接（**互鎖）

程序：包括原點(diǎn)定位+頂升+兩路高壓控制+漏液報(bào)警+軟件配合

**保護(hù)

有防漏電斷路保護(hù)裝置

底部裝有漏液傳感器，機(jī)臺(tái)漏液會(huì)有報(bào)警提示

有可靠的接地裝置及緊急停止和報(bào)警系統(tǒng)

真空不足報(bào)警，異常報(bào)警的情況下將嚴(yán)禁運(yùn)行設(shè)備

是否支持定制

是的


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