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加熱型旋轉涂覆儀技術參數(shù)：
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項目 |
明細 |
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旋涂儀 |
供電電壓 |
AC220V，50Hz |
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轉速 |
0~10000rpm |
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加速度 |
100~5000rpm/s |
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轉速分辨率 |
1rpm |
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單步時間 |
3000s |
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基片尺寸 |
直徑≤8英寸（200mm） |
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腔體材質 |
鋁合金 |
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加熱溫度 |
≤200℃ |
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控溫方式 |
AIP智能控溫 |
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操作方式 |
7寸高清LCD觸控屏 |
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滴膠方式 |
手動滴膠，可選購精密注射泵 |
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勻膠曲線 |
每條曲線5段，共可儲存5條曲線 |
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抽氣接口 |
φ6mm 快擰接口 |
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整機尺寸 |
290mm×365mm×300mm |
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整機重量 |
12kg |
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排氣系統(tǒng) |
真空泵 |
干式機械泵 |
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抽氣速率 |
50L/min |
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供電電源 |
AC220V 50/60Hz |
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