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本設(shè)備采用高精度驅(qū)動(dòng)器,轉(zhuǎn)速分辨率可達(dá)0.2rpm。
產(chǎn)品型號(hào)
CY-SPC12-SS
勻膠腔體
不銹鋼材質(zhì),*大支持直徑300mm厚度2.3mm的晶圓內(nèi)置排膠口
轉(zhuǎn)速
≤3000rpm
轉(zhuǎn)速分辨率
0.2rpm
控制方式
15英寸全高清觸控屏,可使用USB接口升級(jí)程序
供電
AC220V 50Hz 2kW
真空泵
無(wú)油真空泵,抽速120L/min
真空接口
KF16
豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)