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勻膠機可以將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要應用于光刻膠旋涂、生物培養(yǎng)基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領域。
項目
明細
旋涂儀
供電電壓
AC220V,50Hz
轉(zhuǎn)速
0~10000rpm
加速度
100~5000rpm/s
轉(zhuǎn)速分辨率
1rpm
單步時間
3000s
基片尺寸
直徑≤8英寸(200mm)
腔體材質(zhì)
不銹鋼
操作方式
7寸高清LCD觸控屏
滴膠方式
手動滴膠,可選購精密注射泵
勻膠曲線
每條曲線5段,共可儲存5條曲線
抽氣接口
φ8mm 快擰接口
整機尺寸
290mm×365mm×310mm
整機重量
12kg
排氣系統(tǒng)
真空泵
干式機械泵
抽氣速率
1.1L/s
供電電源
AC220V 50/60Hz
豫公網(wǎng)安備 41019702002438號