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本設(shè)備為雙靶磁控鍍膜儀，可用于金屬薄膜的制備，在電子領(lǐng)域、光學(xué)領(lǐng)域、特殊陶瓷制備等領(lǐng)域均有應(yīng)用，也可實驗室SEM樣品制備。
本套配置采用高真空不銹鋼腔體，前開門式設(shè)計，門上配有石英觀察窗，便于實驗的觀察記錄。同時設(shè)備配有旋轉(zhuǎn)加熱樣品臺，可以有效提高薄膜的均勻性和成膜的質(zhì)量。頂蓋上裝有一套擋板，可通過轉(zhuǎn)動擋板切換兩支靶，實現(xiàn)多層鍍膜。
本設(shè)備需要配合高真空分子泵組一起使用，用戶可以選擇進(jìn)口品牌小型分子泵以進(jìn)一步節(jié)省安裝面積。同時該型號可選配膜厚儀組件，可實時監(jiān)測膜厚數(shù)據(jù)，為實驗工藝提供可靠參數(shù)。
雙靶磁控鍍膜儀參數(shù)：
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產(chǎn)品名稱 |
桌面型不銹鋼腔體雙靶磁控鍍膜儀 |
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產(chǎn)品型號 |
CY-MSZ210-I I -DCDC-SS |
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樣品臺 |
外形尺寸 |
φ60mm |
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加熱溫度 |
≦500℃ |
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可調(diào)轉(zhuǎn)速 |
≦20rpm |
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磁控靶槍 |
配兩支2英寸磁控靶，靶材尺寸:直徑50.8mm，厚度≦3mm |
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真空腔體 |
腔體尺寸 |
φ210mm X260mm |
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觀察窗口 |
全向透明 |
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腔體材料 |
304不銹鋼 |
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開啟方式 |
上蓋拆卸式 |
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真空系統(tǒng) |
前級泵 |
低噪音雙極旋片泵 |
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分子泵 |
低噪音大抽速渦輪分子泵 |
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真空測量 |
復(fù)合真空計，量程:10-5~105Pa |
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抽氣接口 |
KF16 |
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抽氣接口 |
KF40 |
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排氣接口 |
KF16 |
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系統(tǒng)真空 |
1.0×10-4Pa |
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供電電源 |
AC 220V 50/60Hz |
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抽氣速率 |
分子泵抽速600L/s，前級泵抽速1.1L/s |
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電源配置 |
電源數(shù)量 |
直流電源兩套 |
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輸出功率 |
500W |
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其他參數(shù) |
供電電壓 |
AC220V,50Hz |
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整機(jī)功率 |
2kW |
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整機(jī)尺寸 |
550mm X 350mm X400mm |
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