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小型旋轉(zhuǎn)涂覆儀產(chǎn)品用途:
勻膠機(jī)可以將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要應(yīng)用于光刻膠旋涂、生物培養(yǎng)基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領(lǐng)域。
小型旋轉(zhuǎn)涂覆儀技術(shù)參數(shù):
項(xiàng)目
明細(xì)
旋涂?jī)x
供電電壓
AC220V 50Hz
轉(zhuǎn)速
0~10000rpm
加速度
100~5000rpm/s
轉(zhuǎn)速分辨率
1rpm
單步時(shí)間
3000s
基片尺寸
直徑≤4英寸(100mm)
腔體材質(zhì)
透明亞克力
操作方式
按鍵+液晶屏
滴膠方式
手動(dòng)滴膠,可選購(gòu)精密注射泵
勻膠曲線
每條曲線5段,共可儲(chǔ)存5條曲線
抽氣接口
φ6mm 快擰接口
整機(jī)尺寸
210mm × 250mm × 200mm
整機(jī)重量
8kg
排氣系統(tǒng)
真空泵
干式機(jī)械泵
抽氣速率
50L/min
供電電源
AC220V 50/60Hz
豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)