多功能鍍膜儀是將蒸發(fā)鍍膜、真空蒸碳以及等離子濺射鍍膜三種功能整合在一起的設(shè)備，可以滿足客戶不同的實(shí)驗(yàn)需求。不但可以用等離子濺射的方式鍍金屬膜，也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或其他金屬單質(zhì)的薄膜。

蒸發(fā)鍍膜：真空蒸鍍是將鍍料在真空中加熱、蒸發(fā)，使蒸發(fā)的原子或原子團(tuán)在溫度較低的基板上析出形成薄膜。

真空蒸碳在原理上也是屬于真空蒸發(fā)鍍膜，需要高真空環(huán)境，主要用于給SEM（掃描電子顯微鏡）樣品鍍導(dǎo)電膜。

等離子濺射鍍膜屬于直流二極濺射，由于等離子濺射是在低氣壓下進(jìn)行的，因此薄膜純度高，粘著力強(qiáng)。又由于是低能濺射，故可在熔點(diǎn)低的有機(jī)物上沉積薄膜。

多功能鍍膜儀的基本操作流程：放置樣品、安裝裝置、接線、定時(shí)、抽真空、調(diào)節(jié)電流、開(kāi)始計(jì)時(shí)、鍍膜完成。由于多功能鍍膜儀涉及多種不同的鍍膜方式，使用不同的功能時(shí)需要用戶自行接線。

多功能鍍膜儀可進(jìn)行真空蒸碳、真空鍍膜和離子濺射，它也可以在高純氬氣的保護(hù)之下進(jìn)行多種離子處理。用本設(shè)備處理的試樣既可用于樣品的外貌觀察又可以進(jìn)行成分分析，尤其是成分的定量分析更為適宜。